洁净室气密测试的基本原理
洁净室气密测试的基本原理
日期：2026-10-25 05:46
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摘要：
洁净室气密测试是很重要的，简单直观的一点就是洁净车间（室）的气密性可以防止负压洁净室内污染物的外泄，如果这一项未检测甚至相关检测人员连气密性检测方法都不懂的话，那这个洁净车间（室）的验收就得越加另请高明了。针对这个洁净车间（室）气密性检测，在合景净化这里是有检测方法的，下面就给大家分享洁净车间气密性检测方法。
基本原理
1、维持无尘车间（室）内为正压或负压均能达到检测要求，但必要条件准许时，负压洁净车间（室）宜用正压检测，正压洁净车间（室）宜用负压检测。
2、可按下面两种方式方法开展气密性检测:
2.1 - 压力衰减法
使洁净车间（室）内达到某一压力(正压或负压)，然后关掉供压或抽负压系统，仔细观察压力随时间慢慢哀减的情况，然后记录下压力衰减到开始压力的二分之一时用到的时间，便是测量洁净车间（室）内正压或负压的半衰期。
2.2 - 恒压法
使洁净车间（室）内达到某一正压，与此同时向洁净车间（室）内补气，使室压达到要求的稳定值而不降低时的补气量便是漏泄量。使洁净车间（室）内达到某一负压，使室压维持要求的稳定值而不降低时的抽气量便是漏泄量。
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