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潔凈室氣密測試的作用用途是什么

日期：2026-07-24 05:19

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摘要：

潔凈室氣密測試主要是檢驗潔凈室的墻壁、地板、頂棚、管線以及其他防護屏障是否足夠嚴(yán)密, 避免空氣從潔凈室泄漏出去或室外污染空氣滲入室內(nèi)。

1、保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗。

2、可按以下方法進行檢測：

1）壓力衰減法：使室內(nèi)達到某一壓力（正壓或負(fù)壓），關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間衰減到起始壓力的一半所用的時間，即為測量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。

2）恒壓法：使室內(nèi)達到某一正壓，同時向室內(nèi)補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣即為泄量。使室內(nèi)達到一負(fù)壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

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